產(chǎn)品概要

CG高低溫真空探針臺(tái)是SEMISHARE多年來技術(shù)積累的創(chuàng)新成果，同時(shí)SEMISHARE也是國(guó)內(nèi)率先自主研發(fā)推出的高低溫真空探針臺(tái)，CG高低溫真空探針臺(tái)能夠?qū)崿F(xiàn)樣品在真空高低溫環(huán)境下的精確電性、光強(qiáng)、波長(zhǎng)、磁場(chǎng)等測(cè)試，其在超低溫，超高真空，自動(dòng)控制，激光模擬方面發(fā)揮著技術(shù)優(yōu)勢(shì)。

基本信息

產(chǎn)品型號(hào)	CG-O-4	工作環(huán)境	高低溫真空環(huán)境
電力需求	AC220V,50~60HZ	操控方式	手動(dòng)探針臺(tái)
產(chǎn)品尺寸	11001100530mm	設(shè)備重量	約190KG

應(yīng)用方向

CG高低溫真空探針臺(tái)在高低溫真空環(huán)境下的芯片測(cè)試、LD/LED/PD測(cè)試、光纖光譜特性測(cè)試、材料/器件的IV/CV特性測(cè)試、霍爾測(cè)試、電磁輸運(yùn)特性、高頻特性測(cè)試等

技術(shù)特點(diǎn)

真空腔體

真空腔體采用外腔和屏蔽腔雙腔體結(jié)構(gòu)，為樣品測(cè)試提供極限壓力為10-4Pa的真空環(huán)境。低溫測(cè)試時(shí)，避免空氣中的水蒸氣在樣品上凝結(jié)成露水，從而避免漏電過大或探針無法接觸電極而使測(cè)試失敗。同時(shí)，由于真空絕熱作用可是有效的提供制冷效率。高溫測(cè)試時(shí)，避免了空氣中的氧氣氧化樣品，從而避免樣品電性誤差、物理和機(jī)械上的形變。

探針臂XYZ調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)

探針臂XYZ調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)采用了自鎖絲杠和交叉滾子導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了探針定位精確為10um，探針漂移量?jī)?yōu)于±60nm/30mins的高精度點(diǎn)針。同時(shí)，采用三軸管狀?yuàn)A具和高屏蔽功能的三軸線纜，從而實(shí)現(xiàn)測(cè)試漏電精度達(dá)50FA。

探針熱沉設(shè)計(jì)，定位更精準(zhǔn)

SEMISHARE直流探針臂均配有兩次熱沉設(shè)計(jì)，第一次探針臂熱沉在防輻射屏上、第二次探針通過陶瓷夾具熱沉在樣品臺(tái)上。SEMISHARE的熱沉設(shè)計(jì)能夠有效的降低探針臂與測(cè)試器件的溫差，提高了測(cè)試數(shù)據(jù)的精確性。

顯微鏡調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)

顯微鏡調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)通過調(diào)節(jié)支撐架的伸縮、高低以及顯微鏡自帶調(diào)節(jié)座，可觀測(cè)樣品任意區(qū)域。20倍目鏡和0.8倍-5倍的物鏡變焦倍率，從而實(shí)現(xiàn)樣品16X-100X的放大倍率。

制冷劑流量調(diào)節(jié)系統(tǒng)

制冷劑調(diào)節(jié)系統(tǒng)由杜瓦罐、壓縮氮?dú)鈮毫刂崎y及精密調(diào)節(jié)的針閥組成?？刂频蜏貢r(shí)，通過調(diào)節(jié)壓縮氮?dú)鈮毫刂崎y來調(diào)節(jié)杜瓦罐中的壓力，從而控制制冷劑流出的壓力，繼而調(diào)節(jié)制冷劑的流量；通過調(diào)節(jié)精密針閥進(jìn)而精密控制制冷的流量，最終實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)的低溫控溫功能。

制冷劑同軸回路

制冷劑同軸回路使制冷劑從中間進(jìn)入管路進(jìn)入樣品臺(tái)，流經(jīng)屏蔽腔底板腔室，在回流至同軸回路外層回流管中，最后通過排氣口排放到室外。制冷劑同軸回路使得制冷劑在排出的過程中加以利用，營(yíng)造相對(duì)室溫低很多的環(huán)境，抑制了進(jìn)入樣品臺(tái)的制冷劑的提前消耗，從而提高制冷劑的制冷效率，較少制冷劑的消耗。

防震平臺(tái)

防震系統(tǒng)采用空氣彈簧式支撐架的防震平臺(tái)。通過空氣彈簧的形狀、材質(zhì)、彈簧室的容積及補(bǔ)助罐容積、阻尼孔徑和水平調(diào)節(jié)閥等一系列減震設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)該系統(tǒng)垂直本征頻率為1.5Hz，水平本征頻率為1.2Hz的低頻固有頻率，承重達(dá)400Kg的承載能力。從而有效避免細(xì)微低頻率頻帶的振動(dòng)給測(cè)試帶來的不利影響。