產(chǎn)品概要

M系列探針臺簡易輕便，占有空間小且移動方便。在保證測試精度的前提下，又極具性價比，非常適合高校教學(xué)實驗使用。如果測試器件的PAD點大于30μm，M系列則是其中的主選設(shè)備之一。該設(shè)備能勝任各種DC直流，至67GHz的RF射頻，MEMS等測試應(yīng)用。

基本信息

廣泛應(yīng)用于DC直流/（IV、CV、I-t、V-t），DC直流/低電流（100fA級）測試，1/f噪聲測試，器件表征測試，RF射頻等

封閉式移動平臺設(shè)計，防塵，防誤操作，結(jié)構(gòu)美觀；移動平臺采用THK精密絲杠傳動+線性移動+無間隙回程差設(shè)計+卡盤鎖緊功能，多方面提升卡盤移動精度

采用中心真空吸附孔和3圈真空吸附環(huán)固定樣品，卡盤每個真空通道均可獨立控制。標準卡盤中心吸附孔為1mm直徑，亦可根據(jù)客戶要求定制。同時卡盤角度可360旋轉(zhuǎn)，微旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)精度0.002°，方便調(diào)節(jié)待測樣品位置

自適應(yīng)減震底座設(shè)計，德國進口隔震材料增強彈性支撐，實現(xiàn)不同程度的剛性硬度和承載范圍，并有效過濾環(huán)境中的震動源干擾，確保探針末端和樣品的Pad穩(wěn)定接觸，提升測試的穩(wěn)定性

型號		M4	M6 mini	M6
外形（長寬高）		650490620mm	650490620mm	650490620mm
重量（KG）		約45kg	約47kg	約52kg
電力需求		220VC,50~60Hz
卡盤常溫標準	卡盤尺寸	4"	6"	6"
	樣品固定方式	環(huán)形真空吸附（可定制多孔吸附）
	背電極測試功能	有/樣品臺電學(xué)獨立懸空
	卡盤材質(zhì)	不銹鋼/銅鍍鎳或鍍金
卡盤移動平臺	X-Y行程	100*100mm	150*150mm	150*150mm
	移動精度	10μm
	Theta行程	360°旋轉(zhuǎn)（粗調(diào)）；微調(diào)范圍±8°，微調(diào)精度0.002°
	卡盤升降	N/A
	卡盤快速拉出	N/A
	控制方式	小型旋鈕驅(qū)動
針座平臺	平臺尺寸	長540mm*寬310mm
	卡盤到平臺距離	8mm（卡盤上表面與針座平臺下表面）
	針座數(shù)量	最多可放置6針座（DC×6/RF×4,DC×2)
	針座平臺升降	N/A
	針座定位方式	磁力吸附或真空吸附
光學(xué)特性	顯微鏡規(guī)格	標配體視顯微鏡（可選配視頻顯微鏡）
	放大倍數(shù)	16~100X
	CCD像素	3種CCD可選:200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字）/650W（數(shù)字）
	顯微鏡控制行程	顯微鏡調(diào)焦架控制可360度旋轉(zhuǎn)，Z軸：50.8mm
	顯微鏡移動精度	N/A
	鏡頭切換方式	N/A
點針規(guī)格	X-Y-Z行程	12mm-12mm-12mm
	機械精度	10μm/2μm/0.7μm
	漏電精度	同軸1pA/V @25℃；三軸100fA/V @25℃; 三軸10pA@3kv @25°C，測試條件：接地屏蔽的干燥環(huán)境（空氣露點低于-40°C）
	接口形式	香蕉頭/鱷魚夾/同軸/三軸接口

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